真空设备种类繁多,但无论何种真空设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例说明:一个真空容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个简单的真空抽气系统。
简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空连接管道、真空泵入口放气阀等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。
凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而***高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,被抽容器中的******真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。
通常前级泵又兼作预抽泵。被抽容器到预抽泵之间的管路称为旁通真空管路,该管路上的阀门称为旁通真空管道阀。主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道,该管路上的阀门称为前级管道阀,而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。
总结来说,一个较完善的真空系统由下列元件组成:
1、抽空设备
2、真空阀门
3、连接管道
4、真空测量装置
5、其它辅助元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
那么,究竟什么是真空系统?用一句话来概括,就是:用来获得有特定要求的真空度的抽空系统。